Le principali particelle emesse attraverso u— na scarica ad arco sono degli elettroni del vapore metallico sotto forma di particelle neu- tre o di ioni e degli aggregati di atomi (da— ta la natura molto esplosiva dell’arco). Le caratteristiche peculiari della scarica uti? lizzata nel processo PVD fanno si che una for— te proporzione del vapore metallico prodotto sia ionizzato e che l’energia media degli io- ni sia più elevata della tensione dell’arco. Delle misure hanno mostrato che con questo processo più dell’80% del vapore emes— so da un contatto di Ti è interamente ionizzae to (vedi in Fig. 7 i tipi di scarica usati nei diversi processi PVD) . Dopo l’emissione avviene il trasferi— mento e l’accelerazione dei vapori metallici verso il substrato attraverso la tensione di polarizzazione (da O a —500 V). Le diverse collisioni tra le molecole gassose riducono l’energia media delle particelle e aumenta- no il tempo di trasferimento tra la sorgente ed il substrato, inoltre dei meccanismi di ec— citazione, trasferimento d’elettroni, dissof ciazione e sintesi operano simultaneamente nel— la fase di creazione del “plasma”. L’ultima tappa di questa quarta fase 16,12