Le principali particelle emesse attraverso u—
na scarica ad arco sono degli elettroni del
vapore metallico sotto forma di particelle neu-
tre o di ioni e degli aggregati di atomi (da—
ta la natura molto esplosiva dell’arco). Le
caratteristiche peculiari della scarica uti?
lizzata nel processo PVD fanno si che una for—
te proporzione del vapore metallico prodotto
sia ionizzato e che l’energia media degli io-
ni sia più elevata della tensione dell’arco.

Delle misure hanno mostrato che con
questo processo più dell’80% del vapore emes—
so da un contatto di Ti è interamente ionizzae
to (vedi in Fig. 7 i tipi di scarica usati nei
diversi processi PVD) .

Dopo l’emissione avviene il trasferi—
mento e l’accelerazione dei vapori metallici
verso il substrato attraverso la tensione di
polarizzazione (da O a —500 V). Le diverse
collisioni tra le molecole gassose riducono
l’energia media delle particelle e aumenta-
no il tempo di trasferimento tra la sorgente ed
il substrato, inoltre dei meccanismi di ec—
citazione, trasferimento d’elettroni, dissof
ciazione e sintesi operano simultaneamente nel—
la fase di creazione del “plasma”.

L’ultima tappa di questa quarta fase

16,12